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发明名称 METHOD OF MEASURING TYPE REQUIRED FOR CHARGED PARTICLE BEAM LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 JPH0689852(A) 申请公布日期 1994.03.29
申请号 JP19920239375 申请日期 1992.09.08
申请人 JEOL LTD 发明人 OKI HIROBUMI
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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