发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0689863(A) 申请公布日期 1994.03.29
申请号 JP19920240545 申请日期 1992.09.09
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 YANO TAKASHI
分类号 C23C16/44;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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