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发明名称
METHOD FOR FORMING FILM OF HIGH-TEMPERATURE SUPERCONDUCTOR AND ITS APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH0680418(A)
申请公布日期
1994.03.22
申请号
JP19920062060
申请日期
1992.03.18
申请人
FUJITSU LTD
发明人
TAMURA YASUTAKA
分类号
C01G1/00;C23C14/06;C23C14/08;H01B12/06;H01B13/00;H01L39/24;(IPC1-7):C01G1/00
主分类号
C01G1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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