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发明名称
INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH0677327(A)
申请公布日期
1994.03.18
申请号
JP19920229725
申请日期
1992.08.28
申请人
HITACHI LTD
发明人
KITAMURA KEIICHI
分类号
G01R1/073;H01L21/66;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;H03F3/55;(IPC1-7):H01L21/82
主分类号
G01R1/073
代理机构
代理人
主权项
地址
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