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发明名称 SUBSTRATE WASHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0677201(A) 申请公布日期 1994.03.18
申请号 JP19930156668 申请日期 1993.06.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUJINAGA KIYOO;ARITA NAOMI;DANSUI YOSHITAKA
分类号 B08B11/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B11/02
代理机构 代理人
主权项
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