| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR ELECTROSTATIC CAPACITY TYPE PRESSURE SENSOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0674849(A) |
申请公布日期 |
1994.03.18 |
| 申请号 |
JP19920186506 |
申请日期 |
1992.07.14 |
| 申请人 |
FUJI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
NAKAMURA KIMIHIRO;TAMAI MITSURU |
| 分类号 |
G01L9/12;G01L9/00;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/12 |
主分类号 |
G01L9/12 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
