| 发明名称 |
SURFACE TREATMENT APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0677301(A) |
申请公布日期 |
1994.03.18 |
| 申请号 |
JP19920228363 |
申请日期 |
1992.08.27 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
TOKUNAGA KYOJI;YAMAMOTO HIROSHI;MIYAZAKI YOSHIHISA |
| 分类号 |
G01B11/06;G01N21/21;G01N21/41;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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