发明名称 CVD DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0677138(A) 申请公布日期 1994.03.18
申请号 JP19910124396 申请日期 1991.04.30
申请人 IWASAKI ELECTRIC CO LTD;WATABE FUKU 发明人 KAWAI HIROSHI;HORIKOSHI SOICHIRO;SERITA ISAO
分类号 C30B25/14;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B25/14
代理机构 代理人
主权项
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