发明名称 Manufacturing method for electrical connections in integrated circuits.
摘要
申请公布号 EP0324198(B1) 申请公布日期 1994.03.16
申请号 EP19880202709 申请日期 1988.11.28
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 DE WERDT, REINIER C/O PHILIPS INTERNATIONAL B.V.;DE BRUIN, LEENDERT C/O PHILIPS INTERNATIONAL B.V.
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/60;H01L21/90 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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