| 发明名称 |
DEVICE FOR GROWING MULTILAYER EPITAXIAL SEMICONDUCTOR STRUCTURES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
RU1462857(C) |
申请公布日期 |
1994.03.15 |
| 申请号 |
SU19874253114 |
申请日期 |
1987.06.01 |
| 申请人 |
FIZIKO-TEKHNICHESKIJ INSTITUT IM.A.F.IOFFE |
发明人 |
ZHILYAEV YU.V.;KECHEK A.G.;KULIKOV A.YU.;MARKARYAN G.R. |
| 分类号 |
C30B25/08;C30B25/14;(IPC1-7):C30B25/08 |
主分类号 |
C30B25/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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