发明名称 BONDING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0669268(A) 申请公布日期 1994.03.11
申请号 JP19920219062 申请日期 1992.08.18
申请人 ASAHI KASEI DENSHI KK 发明人 HATADA YOSHIKATSU
分类号 H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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