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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0669202(A) 申请公布日期 1994.03.11
申请号 JP19920245899 申请日期 1992.08.22
申请人 NEC CORP 发明人 YOSHIDA SHINJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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