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经营范围
发明名称
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0669149(A)
申请公布日期
1994.03.11
申请号
JP19920215325
申请日期
1992.08.13
申请人
SONY CORP
发明人
TSUKAMOTO HIRONORI
分类号
H01L21/26;H01L21/265;H01L21/268;H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/265;H01L29/784
主分类号
H01L21/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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