发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0669350(A) 申请公布日期 1994.03.11
申请号 JP19920067808 申请日期 1992.03.26
申请人 NEC CORP 发明人 YOSHIKAWA KOICHI
分类号 H01L21/28;H01L21/027;H01L21/312;H01L21/318;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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