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发明名称 Verfahren zur Herstellung einer Kristallschicht auf einem Substrat.
摘要
申请公布号 DE68912638(D1) 申请公布日期 1994.03.10
申请号 DE1989612638 申请日期 1989.03.23
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 YAMAGATA, KENJI NO. 401 SAGINUMA TABATA MANSHON, KAWASAKI-SHI KANAGAWA-KEN, JP
分类号 C30B25/18;C30B31/22;H01L21/20;H01L21/84;(IPC1-7):C30B25/18 主分类号 C30B25/18
代理机构 代理人
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