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发明名称 Verfahren zum Ätzen eines Halbleiterkörpers.
摘要
申请公布号 DE3883421(T2) 申请公布日期 1994.03.10
申请号 DE19883883421T 申请日期 1988.04.20
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 DOBSON, PETER JAMES, REDHILL SURREY RH1 5HA, GB
分类号 G02F1/31;H01L21/306;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 G02F1/31
代理机构 代理人
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