发明名称 METHOD OF MAKING SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR940001891(B1) 申请公布日期 1994.03.10
申请号 KR19867000087 申请日期 1986.02.15
申请人 HITACHI LTD. 发明人 TAMAKI, YOICHI;SAKATA, KAZUHIKO;HASEKAWA, NORIO;OKAZAKI, SHINJI;TAKAKURA, TOSHIHIKO;NISHIJAWA, HIROTAKA
分类号 H01L27/082;H01L29/72;(IPC1-7):H01L27/082 主分类号 H01L27/082
代理机构 代理人
主权项
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