Procedure and device for very precise distance measurement of surfaces.

摘要

Zur Messung von vor allem der Rauheit von Oberflächen geht die Erfindung vom Triangulationsverfahren mittels eines Lasers aus, bei welchem der Winkel zwischen Oberfläche und Meßstrahl einstellbar ist. Der auf der Oberfläche erzeugte Lichtfleck muß umso kleiner sein, je genauer die Auflösung sein soll. In der Praxis treten in diesen Bereichen Interferenzerscheinungen auf, die als Speckles das Meßsignal durch Rauschen stören. Die Erfindung verbessert die Auswertbarkeit der empfangenen Signale dadurch wesentlich, daß das von der Oberfläche reflektierte/gestreute Lichtbündel winkelabhängig optisch in zwei Teilbündel mit näherungsweise derselben Flächenverteilung der Intensitäten quer zur Hauptstrahlrichtung zerlegt wird, und daß die beiden Lichtbündel sodann photodiodisch detektiert und aus den Signalen die Rauheitskennwerte bestimmt werden. <IMAGE>