| 发明名称 |
PRODUCTION OF TUNGSTEN FILM AND MULTILAYERED FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0665743(A) |
申请公布日期 |
1994.03.08 |
| 申请号 |
JP19910109085 |
申请日期 |
1991.05.14 |
| 申请人 |
MATSUSHITA GIKEN KK |
发明人 |
YAMADA YUKA;MUTO KATSUHIKO |
| 分类号 |
C23C16/08;C23C28/00;(IPC1-7):C23C16/08 |
主分类号 |
C23C16/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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