发明名称 SUSCEPTOR
摘要
申请公布号 JPH0653139(A) 申请公布日期 1994.02.25
申请号 JP19920202820 申请日期 1992.07.30
申请人 NEC CORP 发明人 OMORI SHUNSUKE
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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