| 发明名称 |
APPARATUS AND MACHINE FOR PLASMA FOR SAMPLE TREATMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0653152(A) |
申请公布日期 |
1994.02.25 |
| 申请号 |
JP19930130099 |
申请日期 |
1993.05.07 |
| 申请人 |
CENTRE NATL ETUD TELECOMMUN <PTT> |
发明人 |
YANIKU SHIYUAN;MIKERU RU KONTERE;FURANSOWA MORIN;SAAJIYU SADA |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C16/511;C23F4/00;H01J37/32;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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