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发明名称 VERTICAL FURNACE
摘要
申请公布号 JPH0653144(A) 申请公布日期 1994.02.25
申请号 JP19920225092 申请日期 1992.07.31
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 KAWASAKI ATSUSHI
分类号 H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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