| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0653209(A) |
申请公布日期 |
1994.02.25 |
| 申请号 |
JP19920203557 |
申请日期 |
1992.07.30 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
NIIMURA NAOYUKI;NAKANO MASAYUKI |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C14/06;H01L21/31;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/318 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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