发明名称 FABRICATION JIG FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0653528(A) 申请公布日期 1994.02.25
申请号 JP19920225183 申请日期 1992.07.31
申请人 NEC CORP 发明人 KOISHI KEIJI
分类号 H01L27/14;H01L31/02;(IPC1-7):H01L31/02 主分类号 H01L27/14
代理机构 代理人
主权项
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