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发明名称 PLASMA GENERATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0652996(A) 申请公布日期 1994.02.25
申请号 JP19920203435 申请日期 1992.07.30
申请人 HITACHI LTD 发明人 KAKEHI YUTAKA;FUKUYAMA RYOJI;NAWATA MAKOTO;KAJI TETSUNORI
分类号 C23F4/00;C23C16/50;H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/46;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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