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发明名称 Vorrichtung für ein Trockenverfahren.
摘要
申请公布号 DE3787328(T2) 申请公布日期 1994.02.24
申请号 DE19873787328T 申请日期 1987.06.17
申请人 OKI ELECTRIC INDUSTRY CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KINOSHITA, HARUHISA, MINATO-KU TOKYO, JP
分类号 C23C14/32;H01J37/34;(IPC1-7):C23F1/00;C23C14/24;C23C14/34;H01L21/203 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
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