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发明名称 SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPH0645211(A) 申请公布日期 1994.02.18
申请号 JP19920197329 申请日期 1992.07.24
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 SAWAYANAGI TOMOHIKO
分类号 F24F7/007;F24F7/06;F24F11/04;H01L21/02;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 F24F7/007
代理机构 代理人
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