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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND INSPECTION METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0645420(A) 申请公布日期 1994.02.18
申请号 JP19920198318 申请日期 1992.07.24
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAKAMURA AKIO
分类号 H01L21/60;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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