发明名称 Laserstrahlerzeuger für eine Röntgenstrahllithographie-Vorrichtung.
摘要
申请公布号 DE3788668(D1) 申请公布日期 1994.02.17
申请号 DE19873788668 申请日期 1987.04.14
申请人 HAMPSHIRE INSTRUMENTS, INC., ROCHESTER, N.Y., US 发明人 ABATE, JOSEPH A., PITTSFORD, NEW YORK 14534, US;DUFT, THOMAS L., FISHERS, NEW YORK 14453, US;FORSYTH, JAMES M., MACEDON, NEW YORK 14502, US;HOOSE, JOHN F., ROCHESTER, NEW YORK 14625, US;ZAMBELLI, ROBERT Z., ROCHESTER, NEW YORK 14625, US;DRUMMOND, MALCOLM M., HENRIETTA, NEW YORK, 14467, US
分类号 G03F9/00;G03F7/20;H01J35/06;H01J35/22;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68;H01S3/101;H01S3/23;H05G2/00;H05H1/22;(IPC1-7):H01S3/23;H01J35/00 主分类号 G03F9/00
代理机构 代理人
主权项
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