发明名称 PIEZOELECTRIC ACTUATOR AND ITS DRIVE METHOD
摘要
申请公布号 JPH0645665(A) 申请公布日期 1994.02.18
申请号 JP19920024611 申请日期 1992.01.14
申请人 TOKO INC 发明人 FUKAMI TATSUO;KA ENKOU
分类号 H01L41/083;H01L41/09;(IPC1-7):H01L41/09 主分类号 H01L41/083
代理机构 代理人
主权项
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