| 发明名称 |
SURFACE TREATMENT BY USING ATOMSPHERIC PRESSURE PLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0641755(A) |
申请公布日期 |
1994.02.15 |
| 申请号 |
JP19910055701 |
申请日期 |
1991.02.28 |
| 申请人 |
II C KAGAKU KK;OKAZAKI SACHIKO;KOKOMA MASUHIRO |
发明人 |
KOKOMA MASUHIRO;OKAZAKI SACHIKO;UCHIYAMA HIROSHI |
| 分类号 |
C23C16/50;H01L21/205;H01L21/31;H05H1/24;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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