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经营范围
发明名称
VACUUM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH0633228(A)
申请公布日期
1994.02.08
申请号
JP19920212357
申请日期
1992.07.17
申请人
TDK CORP
发明人
TAKAI MITSURU;KOBAYASHI KOJI;YAMANAKA SHUNICHI;OTSUKA TOSHIYUKI;HAMAGUCHI ICHIYA
分类号
C23C14/04;C23C14/30;(IPC1-7):C23C14/30
主分类号
C23C14/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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