发明名称 INTERFERENCE MEASURING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0634315(A) 申请公布日期 1994.02.08
申请号 JP19920192457 申请日期 1992.07.20
申请人 SANKYO SEIKI MFG CO LTD 发明人 SHIBA KAZUO;HIGASHIURA KAZUO
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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