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发明名称 COATING-FILM REMOVING MECHANISM OF CHEMICAL-LIQUID COATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0629210(A) 申请公布日期 1994.02.04
申请号 JP19920179521 申请日期 1992.07.07
申请人 NEC CORP 发明人 IWAMI SATOSHI
分类号 B05B15/04;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 B05B15/04
代理机构 代理人
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