发明名称 A TWO DIMENSIONAL PHOTON COUNTING POSITION ENCODER SYSTEM AND PROCESS.
摘要
申请公布号 EP0204818(B1) 申请公布日期 1994.02.02
申请号 EP19860900407 申请日期 1986.06.25
申请人 COMPUTER TECH & IMAGING INC 发明人 CASEY, MICHAEL EDWARD;NUTT, RONALD;DOUGLASS TERRY, D.
分类号 G01T1/202;G01T1/161;G01T1/20;G01T1/29;G02B6/00;(IPC1-7):G01T1/20 主分类号 G01T1/202
代理机构 代理人
主权项
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