| 发明名称 |
MEASURING METHOD FOR DONOR CONCENTRATION AND ACCEPTOR CONCENTRATION IN SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH0621182(A) |
申请公布日期 |
1994.01.28 |
| 申请号 |
JP19920173080 |
申请日期 |
1992.06.30 |
| 申请人 |
JAPAN ENERGY CORP |
发明人 |
WATANABE KENICHI;KURITA HIROSHI |
| 分类号 |
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
