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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0621055(A) 申请公布日期 1994.01.28
申请号 JP19920177894 申请日期 1992.07.06
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 YOKOYAMA KENJI
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/90 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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