发明名称 CVD APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0620961(A) 申请公布日期 1994.01.28
申请号 JP19910222690 申请日期 1991.09.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 WATANABE KAZUNORI;USUI TAKETO;MISE NOBUYUKI;MAEJIMA HIROSHI;KATO HISAYUKI;KATO TOKIO;YONEYAMA SADAO
分类号 C23C16/52;C23C16/453;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/52
代理机构 代理人
主权项
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