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经营范围
发明名称
CVD APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH0620961(A)
申请公布日期
1994.01.28
申请号
JP19910222690
申请日期
1991.09.03
申请人
HITACHI LTD
发明人
WATANABE KAZUNORI;USUI TAKETO;MISE NOBUYUKI;MAEJIMA HIROSHI;KATO HISAYUKI;KATO TOKIO;YONEYAMA SADAO
分类号
C23C16/52;C23C16/453;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
C23C16/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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