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发明名称 WAFER PROBER AND PROBING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0621172(A) 申请公布日期 1994.01.28
申请号 JP19920178095 申请日期 1992.07.06
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAMADA TAKASHI
分类号 G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R1/073
代理机构 代理人
主权项
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