发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0621075(A) 申请公布日期 1994.01.28
申请号 JP19920172888 申请日期 1992.06.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YUYAMA KAZUMITSU
分类号 H01L21/761;H01L21/331;H01L21/76;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L21/761
代理机构 代理人
主权项
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