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发明名称 Sensorelement für mechanische Eigenschaft und Verfahren zu dessen Herstellung.
摘要
申请公布号 DE3787100(T2) 申请公布日期 1994.01.27
申请号 DE19873787100T 申请日期 1987.01.07
申请人 HONDA GIKEN KOGYO K.K., TOKIO/TOKYO, JP;VARIAN INC 发明人 KIMURA, NAOMASA, WAKO-SHI SAITAMA-KEN, JP;NISHIGUCHI, MASAYUKI, WAKO-SHI SAITAMA-KEN, JP;NOGUCHI, MINORU, WAKO-SHI SAITAMA-KEN, JP;DE SWIET THOMAS
分类号 H01L41/12;(IPC1-7):H01L41/12;G01L3/10 主分类号 H01L41/12
代理机构 代理人
主权项
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