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发明名称 ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0613018(A) 申请公布日期 1994.01.21
申请号 JP19920196474 申请日期 1992.06.29
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 TAKAYAMA NAOKI
分类号 H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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