发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0613391(A) |
申请公布日期 |
1994.01.21 |
申请号 |
JP19920169449 |
申请日期 |
1992.06.26 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
ONO ATSUSHI;SAIKI NOBUYUKI |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/331;H01L27/06;H01L29/06;H01L29/10;H01L29/732;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/331 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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