发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0613354(A) 申请公布日期 1994.01.21
申请号 JP19920167866 申请日期 1992.06.25
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 KOKUBU TAKASHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/302;H01L21/90 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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