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发明名称 Spiegel für Excimer-Laser und Excimer-Laservorrichtung unter Verwendung des Spiegels.
摘要
申请公布号 DE3886067(D1) 申请公布日期 1994.01.20
申请号 DE19883886067 申请日期 1988.02.25
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., KADOMA, OSAKA, JP 发明人 MIYATA, TAKEO, ZAMA CITY, 228, JP;IWABUCHI, TAKASHI, SAGAMIHARA CITY, 229, JP
分类号 G02B1/10;G02B5/08;H01S3/08;(IPC1-7):G02B1/10 主分类号 G02B1/10
代理机构 代理人
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