发明名称 Appareil et procédé de diffusion comman dée d'impuretés dans un matériau semiconducteur
摘要
申请公布号 FR1528975(A) 申请公布日期 1968.06.14
申请号 FR19670107618 申请日期 1967.05.24
申请人 WESTINGHOUSE ELECTRIC CORPORATION 发明人
分类号 C30B31/06;H01L21/00 主分类号 C30B31/06
代理机构 代理人
主权项
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