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发明名称 FORMATION OF METALLIC FILM PATTERN
摘要
申请公布号 JPH0610159(A) 申请公布日期 1994.01.18
申请号 JP19920168034 申请日期 1992.06.26
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 WATANABE YASUMASA
分类号 C23F1/00;B81C1/00;H01L21/302;(IPC1-7):C23F1/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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