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发明名称 CONTROLLING METHOD OF OVEN FOR AUTOMATIC ASSEMBLING LINE OF SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH065639(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19920186009 申请日期 1992.06.19
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YAMADA MASAMI
分类号 H01L21/52;H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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