发明名称 MANUFACTURE OF NONVOLATILE SEMICONDUCTOR MEMORY
摘要
申请公布号 JPH065874(A) 申请公布日期 1994.01.14
申请号 JP19920160990 申请日期 1992.06.19
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OI MAKOTO;AJIKA NATSUO;ONODA HIROSHI;KUNORI YUUICHI;FUKUMOTO ATSUSHI
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/788 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
地址