发明名称 |
MANUFACTURE OF NONVOLATILE SEMICONDUCTOR MEMORY |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH065874(A) |
申请公布日期 |
1994.01.14 |
申请号 |
JP19920160990 |
申请日期 |
1992.06.19 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
OI MAKOTO;AJIKA NATSUO;ONODA HIROSHI;KUNORI YUUICHI;FUKUMOTO ATSUSHI |
分类号 |
H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/788 |
主分类号 |
H01L21/8247 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|