申请人 |
HITACHI CHEMICAL CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP |
发明人 |
TAI, SEIJI, PALO ALTO CALIFORNIA 94306, US;HAYASHI, NOBUYUKI, HITACHI-SHI, JP;KAMIJIMA, KOICHI, HITACHI-SHI, JP;AKIMOTO, TAKAYUKI, HITACHI-SHI, JP;KATAYOSE, MITSUO, HITACHI-SHI, JP;HAGIWARA, HIDEO, HITACHI-SHI, JP |